한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)
- 한국재료학회 2005년도 춘계학술발표대회 및 제8회 신소재 심포지엄 논문개요집
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- 2005
프라즈마 처리에 의한 임베디드 케패시터용 유전 박막의 유전 특성 영향
The effect on the dielectric constant of embedded thin film capacitor by plasma treatment
- 발행 : 2005.05.26