Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2005.05a
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- Pages.128-128
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- 2005
A Study on the Effect of Plasma Treatment on Dielectric Layer for the Application of Embedded Thin Film Capacitor
임베디드 박막 캐패시터용 유전막의 플라즈마 처리 효과에 대한 연구
Abstract
Keywords