Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2005.05a
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- Pages.109-109
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- 2005
The Technical Development to make 1.0um Thickness Dielectric Layer Using Spin Coating Method
스핀 코팅 방법을 이용한 1.0um 유전체막 형성 기술 개발
Abstract
Keywords