한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)
- 한국재료학회 2005년도 춘계학술발표대회 및 제8회 신소재 심포지엄 논문개요집
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- Pages.54-54
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- 2005
평판형 유도결합 $BCL_3/CF_4$ 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 선택적 건식
Selective Dry Etching of GaAs over AlGaAs in a Planar Inductively Coupled $BCL_3/CF_4$ Plasma
- 유승열 (인제대학교 나노공학부) ;
- 장수욱 (인제대학교 나노공학부) ;
- 박민영 (인제대학교 나노공학부) ;
- 이장희 (인제대학교 나노공학부) ;
- 노호섭 (인제대학교 나노공학부) ;
- 임완태 (인제대학교 나노공학부) ;
- 이제원 (인제대학교 나노공학부) ;
- 조관식 (인제대학교 나노공학부) ;
- 전민현 (인제대학교 나노공학부, 인제대학교 나노기술 응용연구소) ;
- 송한정 (인제대학교 나노공학부) ;
- 백인규 ((주)유니벡) ;
- 권민철 ((주)유니벡)
- Yu, Seung-Yeol ;
- Jang, Su-Uk ;
- Park, Min-Yeong ;
- Lee, Jang-Hui ;
- No, Ho-Seop ;
- Im, Wan-Tae ;
- Lee, Je-Won ;
- Jo, Gwan-Sik ;
- Jeon, Min-Hyeon ;
- Song, Han-Jeong ;
- Baek, In-Gyu ;
- Gwon, Min-Cheol
- 발행 : 2005.05.26