한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

In Line Type ICP 마그네크론 스퍼터링 장치와 E-Beam Evaporation에 의한 MgO 박막 특성 비교

Characteristic comparison of MgO thin film deposited by In Line Type ICP Magnetron Sputtering System and E-Beam Evaporator-System

  • 양원균 (군산대학교 공과대학 재료 화학공학부 재료공정연구실) ;
  • 김태학 (군산대학교 공과대학 재료 화학공학부 재료공정연구실) ;
  • 주정훈 (군산대학교 공과대학 재료 화학공학부 재료공정연구실)
  • 발행 : 2005.11.04
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