한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

RF Plasma Cleaning System을 이용한 광학렌즈 세정에 미치는 $CF_4$ 및 $N_2$ Gas 영향에 관한 연구

  • 홍주형 (고등기술연구원 플라즈마기술센터 플라즈마팀) ;
  • 신중욱 (고등기술연구원 플라즈마기술센터 플라즈마팀) ;
  • 김상식 (고등기술연구원 플라즈마기술센터 플라즈마팀)
  • 발행 : 2005.11.04
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