Electro-Chemical Properties of Iridium Oxide Coated Ti Electrode Synthesized By Unbalanced Magnetron Sputtering Process

비대칭 마크네트론 스퍼터링을 이용한 이리듐 산화물 박막의 합성과 전기 화학적 특성분석

  • 김성대 (고등기술연구원 플라즈마센타) ;
  • 김상식 (고등기술연구원 플라즈마센타)
  • Published : 2005.11.04