한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

DC 마그네트론 스퍼터링을 이용한 IZO 박막의 제조와 특성 연구

Preparation and Characterization of IZO Thin Films grown by DC Magnetron Sputtering

  • 박창하 (한국기계연구원 재료기술연구소 표면기술연구센터) ;
  • 김현범 (한국기계연구원 재료기술연구소 표면기술연구센터) ;
  • 김도근 (한국기계연구원 재료기술연구소 표면기술연구센터) ;
  • 김동호 (한국기계연구원 재료기술연구소 표면기술연구센터) ;
  • 이건환 (한국기계연구원 재료기술연구소 표면기술연구센터)
  • 발행 : 2005.11.04
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