Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Preparation and Characterization of IZO Thin Films grown by DC Magnetron Sputtering

DC 마그네트론 스퍼터링을 이용한 IZO 박막의 제조와 특성 연구

  • 박창하 (한국기계연구원 재료기술연구소 표면기술연구센터) ;
  • 김현범 (한국기계연구원 재료기술연구소 표면기술연구센터) ;
  • 김도근 (한국기계연구원 재료기술연구소 표면기술연구센터) ;
  • 김동호 (한국기계연구원 재료기술연구소 표면기술연구센터) ;
  • 이건환 (한국기계연구원 재료기술연구소 표면기술연구센터)
  • Published : 2005.11.04
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Abstract

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