한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

비대칭 마그네트론 스퍼터링을 이용한 다층 TiAlN/$Si_{3}N_4$ 박막의 합성과 특성평가

Synthesis and property evaluation of multi-layered TiAlN/$Si_{3}N_4$ thin films using unbalanced magnetron sputtering

  • 김명근 (한국항공대학교 재료공학과) ;
  • 김은영 (한국항공대학교 재료공학과) ;
  • 김광석 (한국항공대학교 재료공학과) ;
  • 이상율 (한국항공대학교 재료공학과)
  • 발행 : 2005.11.04
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드