한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

유도결합플라즈마가 적용된 반응성 스퍼터법을 이용한 $TiO_2$ 박막의 증착

Deposition of $TiO_2$ films by reactive ICP-sputtering

  • 발행 : 2005.11.04
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