A Quality Data-Mining System in LCD Industry

LCD 산업에서의 품질마이닝 시스템

  • Published : 2005.05.13

Abstract

본 논문에서는 LCD 공정의 효율적인 관리를 위한 방법으로서 품질마이닝 시스템의 설계/개발 그리고 운영방법론을 논하고자 한다. 주요내용으로는 주요공정의 탐색, 설비유의차분석, 공정최적화 및 recipe 최적화, 수율 및 주요특성의 추정/예측 등을 들 수 있다. 이를 위하여 다양한 데이터마이닝 도구와 통계적 모형의 적절한 활용 방법을 논하고자 한다. 또한, 실제현장 중심의 개발사례를 통하여 품질마이닝 시스템의 유용성을 기술하였다.

Keywords