저온에서의 Quartz Crystal Microbalance을 이용한 Mass Flux 측정 장치 제작

  • 임철민 (대전대학교 전자물리학과) ;
  • 성대진 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 이성준 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 신재수 (대전대학교 전자물리학과) ;
  • 윤주영 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 정광화 (한국표준과학연구원 진공기술센터)
  • Published : 2005.08.18