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한국진공학회
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한국진공학회:학술대회논문집
(Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
한국진공학회 2005년도 제29회 학술발표회 초록집
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Pages.181-181
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2005
한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
CVD precursor 잔존량 진단장치 개발
이지훈
(건국대학교 신소재공학과) ;
윤주영
(한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
성대진
(한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
문두경
(건국대학교 신소재공학과) ;
신용현
(한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
정광화
(한국표준과학연구원 진공기술센터)
Lee, Ji-Hun
;
Yun, Ju-Yeong
;
Seong, Dae-Jin
;
Mun, Du-Gyeong
;
Sin, Yong-Hyeon
;
Jeong, Gwang-Hwa
발행 : 2005.08.18
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