Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

CVD precursor 잔존량 진단장치 개발

  • 이지훈 (건국대학교 신소재공학과) ;
  • 윤주영 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 성대진 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 문두경 (건국대학교 신소재공학과) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 정광화 (한국표준과학연구원 진공기술센터)
  • Published : 2005.08.18
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Abstract

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