Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

EEPF in a high power pulsed DC magnetron sputtering discharge

  • 인정환 (한국과학기술원 물리학과) ;
  • 김용모 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 장홍영 (한국과학기술원 물리학과) ;
  • 한전건 (성균관대학교 신소재공학과)
  • Published : 2005.08.18
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