광감쇠법을 이용한 플라즈마 내 나노입자 밀도 측정

  • 선창래 (KAIST 물리학과 기체방전물리연구실) ;
  • 박호용 (KAIST 물리학과 기체방전물리연구실) ;
  • 최원호 (KAIST 물리학과 기체방전물리연구실) ;
  • 박성종 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 정광화 (한국표준과학연구원 진공기술센터)
  • 발행 : 2005.08.18