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한국진공학회
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한국진공학회:학술대회논문집
(Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
한국진공학회 2005년도 제29회 학술발표회 초록집
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Pages.147-147
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2005
한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
부유형 단일탐침을 이용한 플라즈마 진단법
최익진
(한양대학교 전기공학과) ;
정진욱
(한양대학교 전기공학과)
Choe, Ik-Jin
;
Jeong, Jin-Uk
발행 : 2005.08.18
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