Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2005.08a
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- Pages.146-146
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- 2005
집속이온빔 장치를 이용한 MgO 보호막의 스퍼터링 수율 측정과 이차전자 방출계수와의 관계
- Hyeon, Jeong-U ;
- Im, Yeon-Chan ;
- Jeong, Gang-Won ;
- Jeong, Won-Hui ;
- Park, Cheol-U ;
- Choe, Eun-Ha ;
- Seo, Yun-Ho ;
- Gang, Seung-Eon
- 현정우 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 임연찬 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 정강원 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 정원희 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 박철우 (한국산업기술대학교 기계공학과) ;
- 최은하 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 서윤호 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 강승언 (광운대학교 전자물리학과)
- Published : 2005.08.18
Abstract
Keywords