CCP플라즈마의 조건에 따른 EEDF와 Radical변화

  • 이헌수 (KAIST 물리학과 저온플라즈마 실험실) ;
  • 유신재 (KAIST 물리학과 저온플라즈마 실험실) ;
  • 장홍영 (KAIST 물리학과 저온플라즈마 실험실)
  • 발행 : 2005.08.18