마이크로 스펙트로미터 적외선 센서용 저응력 $Si_{3}N_{4}$ Membrane상에서의 Thermopile 제조 및 특성

• 최공희 (경희대학교 전자공학과) ;
• 박광범 (전자부품연구원 나노메카트로닉스 연구센터) ;
• 박준식 (전자부품연구원 나노메카트로닉스 연구센터) ;
• 정관수 (경희대학교 전자공학과)

• Choe, Gong-Hui ;
• Park, Gwang-Beom ;
• Park, Jun-Sik ;
• Jeong, Gwan-Su

• 발행 : 2005.08.18

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