Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2005.08a
- /
- Pages.137-137
- /
- 2005
마이크로 스펙트로미터 적외선 센서용 저응력 $Si_{3}N_{4}$ Membrane상에서의 Thermopile 제조 및 특성
- Published : 2005.08.18
Abstract
Keywords