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한국진공학회
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한국진공학회:학술대회논문집
(Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
한국진공학회 2005년도 제29회 학술발표회 초록집
/
Pages.131-131
/
2005
한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
(
$SiO_{2},\;Si_{3}N_{4}$
의 Capping과 레이저결정화에 의한 저온 다결정 실리콘의 결정립 성장 제어)
정현석
(경희대학교 전자공학과, 전자부품연구원 디스플레이연구센터) ;
정관수
(경희대학교 전자공학과) ;
김영훈
(전자부품연구원 디스플레이연구센터) ;
김원근
(전자부품연구원 디스플레이연구센터) ;
문대규
(전자부품연구원 디스플레이연구센터) ;
한정인
(전자부품연구원 디스플레이연구센터)
Jeong, Hyeon-Seok
;
Jeong, Gwan-Su
;
Kim, Yeong-Hun
;
Kim, Won-Geun
;
Mun, Dae-Gyu
;
Han, Jeong-In
발행 : 2005.08.18
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