($SiO_{2},\;Si_{3}N_{4}$의 Capping과 레이저결정화에 의한 저온 다결정 실리콘의 결정립 성장 제어)

• 정현석 (경희대학교 전자공학과, 전자부품연구원 디스플레이연구센터) ;
• 정관수 (경희대학교 전자공학과) ;
• 김영훈 (전자부품연구원 디스플레이연구센터) ;
• 김원근 (전자부품연구원 디스플레이연구센터) ;
• 문대규 (전자부품연구원 디스플레이연구센터) ;
• 한정인 (전자부품연구원 디스플레이연구센터)

• Jeong, Hyeon-Seok ;
• Jeong, Gwan-Su ;
• Kim, Yeong-Hun ;
• Kim, Won-Geun ;
• Mun, Dae-Gyu ;
• Han, Jeong-In

• 발행 : 2005.08.18

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