Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Low-temperature remote plasma-enhanced chemical deposition of SiOx thin films on organic substrate

  • 김덕진 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 황진영 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 이내응 (성균관대학교 재료공학과)
  • Published : 2005.08.18
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