02)567-9486
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The Korean Vacuum Society
http://www.kvs.or.kr
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2005.08a
/
Pages.128-128
/
2005
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
공간분해능 타원편광분석기를 이용한 poly Si 의 결정화에 관한 연구
Kim, Tae-Jung
;
Choe, Ae-Jin
;
Kim, Yeong-Dong
;
O, Jae-Hwan
;
Jang, Jin
김태중
(경희대학교 물리학과 및 정보 디스플레이 연구소) ;
최애진
(경희대학교 물리학과 및 정보 디스플레이 연구소) ;
김영동
(경희대학교 물리학과 및 정보 디스플레이 연구소) ;
오재환
(경희대학교 물리학과 및 차세대 디스플레이 연구소) ;
장진
(경희대학교 물리학과 및 차세대 디스플레이 연구소)
Published : 2005.08.18
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