02)567-9486
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The Korean Vacuum Society
http://www.kvs.or.kr
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2005.08a
/
Pages.120-120
/
2005
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
원자층 증착법으로 형성된 실리콘 산화막의 특성
Cheon, Min-Ho
;
Na, Sa-Gyun
;
Lee, Yeon-Seung
;
Lee, Won-Jun
천민호
(한밭대학교 재료공학과) ;
나사균
(한밭대학교 재료공학과) ;
이연승
(한밭대학교 정보통신컴퓨터공학부) ;
이원준
(세종대학교 신소재공학과)
Published : 2005.08.18
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