Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

원자층 증착법으로 형성된 실리콘 산화막의 특성

  • 천민호 (한밭대학교 재료공학과) ;
  • 나사균 (한밭대학교 재료공학과) ;
  • 이연승 (한밭대학교 정보통신컴퓨터공학부) ;
  • 이원준 (세종대학교 신소재공학과)
  • Published : 2005.08.18
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