Plastic 기판에서 TFT 제조시 Overlay tolerance에 미치는 Inorganic gas barrier 효과

• 박동진 (한국전자통신 연구원 플렉시블 소자팀) ;
• 김용해 (한국전자통신 연구원 플렉시블 소자팀) ;
• 임정욱 (한국전자통신 연구원 플렉시블 소자팀) ;
• 정중희 (한국전자통신 연구원 플렉시블 소자팀) ;
• 윤선진 (한국전자통신 연구원 플렉시블 소자팀) ;
• 김대원 (한국전자통신 연구원 플렉시블 소자팀) ;
• 이진호 (한국전자통신 연구원 플렉시블 소자팀)

• Park, Dong-Jin ;
• Kim, Yong-Hae ;
• Im, Jeong-Uk ;
• Jeong, Jung-Hui ;
• Yun, Seon-Jin ;
• Kim, Dae-Won ;
• Lee, Jin-Ho

• 발행 : 2005.08.18

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