02)567-9486
English
한국어
English
The Korean Vacuum Society
http://www.kvs.or.kr
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2005.08a
/
Pages.112-112
/
2005
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
급속 열처리가 초미세 SOI MOSFET 소자의 게이트 산화막 계면 및 동작 특성에 미치는 영향
Jo, Won-Ju
조원주
(광운대학교 전자정보대학 전자재료공학과)
Published : 2005.08.18
PDF
Download PDF
〈 Previous
Next 〉
Abstract
Keywords
Detail Search
×
Title, Summary, Keyword
Publications
Publication Year
Volume
Issue
Page
Author
Affiliation
Publisher
DOI
Publication Type
Journal
Conference Proceeding Paper
Magazine