Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Effect of the low growth rate and slow pulse repetition on ZnO thin films at low Temperature

  • 김덕남 (동국대학교 반도체과학과) ;
  • 황선재 (동국대학교 반도체과학과) ;
  • 이혜성 (동국대학교 반도체과학과) ;
  • 한창석 (동국대학교 반도체과학과) ;
  • 이세준 (동국대학교 반도체과학과) ;
  • 김득영 (동국대학교 반도체과학과)
  • Published : 2005.08.18
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