열처리 효과에 의한 $ZrO_{2}$ 박막과 Si기판 사이의 계면특성에 관한 연구

• 탁성주 (고려대학교 재료공학과) ;
• 허재성 (고려대학교 재료공학과) ;
• 백상열 (고려대학교 재료공학과) ;
• 이정섭 (고려대학교 재료공학과) ;
• 최인훈 (고려대학교 재료공학과)

• Tak, Seong-Ju ;
• Heo, Jae-Seong ;
• Baek, Sang-Yeol ;
• Lee, Jeong-Seop ;
• Choe, In-Hun

• 발행 : 2005.02.15

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