Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2005.02a
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- Pages.78-78
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- 2005
Comparison of Selective and Non-selective Dry Etching of GaAs-based Semiconductors in Planar Inductively Coupled $BCl_{3}$ based Plasmas
- Ryu, Hyeon-U ;
- Yu, Seung-Yeol ;
- Jang, Su-Uk ;
- Choe, Chung-Gi ;
- Park, Min-Yeong ;
- Im, Wan-Tae ;
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Lee, Je-Won
;
- Jo, Gwan-Sik ;
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Jeon, Min-Hyeon
;
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Song, Han-Jeong
- 류현우 (인제대학교 나노공학부/나노기술 응용연구소) ;
- 유승열 (인제대학교 나노공학부/나노기술 응용연구소) ;
- 장수욱 (인제대학교 나노공학부/나노기술 응용연구소) ;
- 최충기 (인제대학교 나노공학부/나노기술 응용연구소) ;
- 박민영 (인제대학교 나노공학부/나노기술 응용연구소) ;
- 임완태 (인제대학교 나노공학부/나노기술 응용연구소) ;
-
이제원
(인제대학교 나노공학부/나노기술 응용연구소) ;
- 조관식 (인제대학교 나노공학부/나노기술 응용연구소) ;
-
전민현
(인제대학교 나노공학부/나노기술 응용연구소) ;
-
송한정
(인제대학교 나노공학부/나노기술 응용연구소)
- Published : 2005.02.15
Abstract
Keywords