Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2005.02a
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- Pages.66-66
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- 2005
Radiation 직접 가열방법을 적용한 유기물용 Effusion Cell의 특성에 대한 연구
- Hwang, Do-Won ;
- Kim, Eun-Do ;
- Jeong, Myeong-Hyo ;
- Kim, Chang-Do ;
- Son, Yeong-Ho ;
- Jo, Seong-Jin ;
- Eom, Gi-Seok
- 황도원 ((주)알파플러스 기술연구소) ;
- 김은도 ((주)알파플러스 기술연구소) ;
- 정명효 ((주)알파플러스 기술연구소) ;
- 김창도 ((주)알파플러스 기술연구소) ;
- 손영호 ((주)알파플러스 기술연구소) ;
- 조성진 (경성대학교 물리학과) ;
- 엄기석 (위덕대학교 반도체전자공학부)
- Published : 2005.02.15
Abstract
Keywords