한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2005년도 제28회 학술발표회 초록집
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- Pages.61-61
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- 2005
Electric structure and thermal stability of $HfO_{2}-Al_{2}O_{3}$ (HfAlO) film for gate insulator
- 이상행 (한양대학교 화학과, 한국표준과학연구원 나노표면그룹) ;
- 정권범 (연세대학교 물리학과) ;
- 조만호 (한양대학교 화학과) ;
- 문대원 (한국표준과학연구원 나노표면그룹) ;
- 이동원 (연세대학교 세라믹공학과) ;
- 고대홍 (연세대학교 세라믹공학과) ;
- 황정남 (연세대학교 물리학과) ;
- 이해원 (한양대학교 화학과)
- Lee, Sang-Haeng ;
- Jeong, Gwon-Beom ;
- Jo, Man-Ho ;
- Mun, Dae-Won ;
- Lee, Dong-Won ;
- Go, Dae-Hong ;
- Hwang, Jeong-Nam ;
- Lee, Hae-Won
- 발행 : 2005.02.15