MEMS 기술을 이용한 생체계측용 초소형 초음파 변환기 개발

Development of micro ultrasonic transducer for bio-measurement using MEMS technology

  • 김기복 (한국표준과학연구원 환경안전계측센터) ;
  • 안봉영 (한국표준과학연구원 환경안전계측센터)
  • 발행 : 2005.02.18