한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2005년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.102-105
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- 2005
졸-겔법으로 제작된 $SnO_2$ 가스센서의 미세구조 특성에 관한 연구
A Study on the Microstructure Properties of $SnO_2$ Gas Sensors Fabricated by Sol-Gel Method
- 장경욱 (경원전문대학) ;
- 김명호 (경원전문대학) ;
- 이원재 (경원전문대학) ;
- 이호식 (홍익대학교) ;
- 김태완 (홍익대학교) ;
- 정동희 (광운대학교) ;
- 안준호 (광운대학교) ;
- 이성일 (충주대학교) ;
- 김상걸 (특허청)
- Jang, K.U. (Kyungwon Col.) ;
- Kim, M.H. (Kyungwon Col.) ;
- Lee, W.J. (Kyungwon Col.) ;
- Lee, H.S. (Hongik Univ.) ;
- Kim, T.W. (Hongik Univ.) ;
- Chung, D.H. (Kwangwoon Univ.) ;
- Ahn, J.H. (Kwangwoon Univ.) ;
- Lee, S.I. (Chungju Univ.) ;
- Kim, S.K. (KIPO)
- 발행 : 2005.05.27
초록
가스센서는 응용 분야와 기능 및 종류가 다양하고 최첨단 분야로서 학문적으로는 물리, 화학, 전기, 전자 및 기계 등의 배경을 필요로 하며 산업적으로는 공업 전 분야와 농림, 축산, 사무기기에서 뿐만 아니라 공해 방진용(자동차 연소제어 및 배출가스 제어, 대기오염 감시등), 민생용(조리, 환기, 공조 등), 교통 보안용(음주운전측정 및 음주운전 방지장치 등), 방재용(가스 누설 탐지기, 불완전 연소 방지, 산소 결핍, 화재 등), 의료용(호기, 마취가스의 분석 등) 매우 광범위하며 점점 더 확대되어 가고 있다. 본 연구에서는 검출 가스 종류에 따라 졸-겔법으로 감응막을 최적 설계하고, 최적으로 설계된 감응막을 디핑법으로 코팅처리한 후 최적으로 열처리하여 센서를 제작하였다. 또한, 자체 제작한 가스검출 시스템에 제작된 센서를 장착하여 센서의 가스 검출 특성을 측정하고, 측정 데이터를 이용하여 휴대용 가스 검출 시스템을 설계 제작하였다.