Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2005.05a
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- Pages.139-141
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- 2005
Three-dimensional measurement of electron temperature and plasma density in coplanar AC plasma display panels
면방전 AC-PDP에서의 전자온도와 플라스마 밀도의 3차원 진단
- Jeong, S.H. (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
- Moon, M.W. (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
- Park, W.B. (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
- Lee, J.H. (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
- Lim, J.E. (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
- Lee, H.J. (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
- Son, C.G. (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
- Lee, S.B. (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
- Yoo, N.L. (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
- Han, Y.G. (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
- Oh, P.Y. (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
- Ko, B.D. (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
- Jeoung, J.M. (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
- Seo, Yoon-Ho (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
- Cho, Guang-Sup (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
- Choi, Eun-Ha (Department of Electrophysics, Kwangwoon University)
- 정세훈 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 문민욱 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 박원배 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 이준호 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 임정은 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 이혜정 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 손창길 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 이수범 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 유나름 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 한용규 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 오필용 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 고병덕 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 정진만 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 서윤호 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 조광섭 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 최은하 (광운대학교 전자물리학과)
- Published : 2005.05.13
Abstract
이번 실험에서는 변방전형 교류 PDP에서의 3차원적인 전자온도와 이온밀도의 측정을 마이크로 랑뮈르 탐침법을 통해 실험적으로 연구하였다. 스테핑 모터에 연결된 마이크로 랑뮈르 탐침은 20um씩 움직이며 탐침에 인가하는 플러스와 마이너스의 직류전압을 통해 I-V곡선을 구할 수 있고 이를 통해서 전자온도와 플라스마 밀도를 구할 수 있다. Ne+Xe(4%) 200Torr의 혼합가스에서 전극의 테두리를 따라(X축) 전자온도 및 플라스마 밀도를 측정한 결과 중앙지점에서와 전극의 경계지역에서 이온밀도는