Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2005.07a
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- Pages.568-569
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- 2005
Establishment of an Equivalent Circuit Model and Analysis of Impedance Matching Characteristics of RF-Heating System in Hanbit Magnetic Minor Device
한빛 자기거울 장치의 고주파 가열 시스템에 대한 등가회로 모델 정립 및 정합 특성 분석
- Lee, Jong-Kyu (Chungbuk National University) ;
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Yoon, Nam-Sik
(Chungbuk National University)
;
- Park, Byeong-Ho (Korea Basic Science Institute)
- Published : 2005.07.07
Abstract
한빛 자기거울 장치는 고온 플리즈마 물성을 연구하기 위한 장치로서 플러즈마 밀도 형성을 위한 slot 형 안테나 고주파 가열 시스템이 중앙 진공용기에 설치되어 있다. 본 연구에서는 이러한 고주파 전송선로, 임피던스 정합 network. 장치 임피던스를 포함하는 한빛 장치의 고주파 가열 시스템에 대하여 기존에 정립된 고주파 가열 이론[1]을 기반으로 하여 이론적인 해석만으로 구성된 회로모델을 완성하였다. 임피던스 정합 소자 값들은 임피던스 정합 조건으로 결정함으로써 다양한 장치 및 플라즈마 변수들의 함수로 표현하여 그 의존성을 조사하였다.