펨토초 레이저를 이용한 극미세 가공 (1) - 금속 극미세 가공 및 탄성 AFM cantilever 제작 -

  • 유병헌 (한국기계연구원, 나노공정장비연구센터) ;
  • 조성학 (한국기계연구원, 나노공정장비연구센터) ;
  • 장원석 (한국기계연구원, 나노공정장비연구센터) ;
  • 김재구 (한국기계연구원, 나노공정장비연구센터) ;
  • 황경현 (한국기계연구원) ;
  • 이동주 (충남대학교)
  • 발행 : 2005.07.14