한국광학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Optical Society of Korea Conference)

한국광학회 (Optical Society of Korea)
권호 표지

3 ${\mu}$m 리소그라피 공정을 이용하여 AlGaAs/InGaAs QW-FET웨이퍼로 제작된 MSM 광검출기

MSM Photodetector Fabricated on AlGaAs/lnGaAs QW-FET Wafers Using 3${\mu}$m Lithography Process

  • 발행 : 2005.07.14
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