분산형 백색광 간섭계를 이용한 박막 두께 측정

Dispersive White-light Interferometry for Thin-film Thickness Measurement

  • 김영식 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 유준호 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 김승우 (한국과학기술원 기계공학과)
  • 발행 : 2005.07.14