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최근 에너지 위기와 함께 대형 엑시머 레이저의 효율을 향상시키고자 하는 연구가 선진 각국에서 진행되고 있다. 본 연구에서는 방전으로 여기 되는 대형 엑시머 레이저를 이론적으로 해석하기 위한 방법을 제시한다.