한국정보통신학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference)
- 한국해양정보통신학회 2005년도 춘계종합학술대회
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- Pages.990-994
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- 2005
ZnSe 박막 성장을 위한 Molecular Beam Epitaxy 성장 조건의 결정
- 정명훈 (한국해양대학교) ;
- 박승환 (한국해양대학교) ;
- 김광희 (한국해양대학교) ;
- 정미나 (한국해양대학교) ;
- 양민 (한국해양대학교) ;
- 안형수 (한국해양대학교) ;
- 장지호 (한국해양대학교) ;
- 김홍승 (한국해양대학교) ;
- 송준석 ;
- Jeong, Myeong-Hun ;
- Park, Seung-Hwan ;
- Kim, Gwang-Hui ;
- Jeong, Mi-Na ;
- Yang, Min ;
- An, Hyeong-Su ;
- Jang, Ji-Ho ;
- Kim, Hong-Seung ;
- Song, Jun-Seok (Neosemitech Corporation) ;
- Yao, Takafumi (Institute for Materials Research, Tohoku University)
- 발행 : 2005.05.27
초록
II-VI족 화합물 반도체를 성장하기 위한 MBE 성장 조건으로서 성장 온도, flux 율, 성장률에 대해 연구하였다. 성장 온도, flux 율, 성장률은 각각 290
MBE growth conditions such as growth temperature, flux ration and growth rate for II-VI compound semiconductor growth has been studied. The growth temperature, flux ration and growth rate were tentatively controlled to 290