Fabrication of Micro Mirror Array for Integrated Optical Pickup

집적형 광픽업을 위한 마이크로미러 어레이의 제작

  • 이명복 (삼성종합기술원 재료소자연구소 HDD Program Team) ;
  • 손진승 (삼성종합기술원 재료소자연구소 HDD Program Team) ;
  • 김해성 (삼성종합기술원 재료소자연구소 HDD Program Team) ;
  • 조은형 (삼성종합기술원 재료소자연구소 HDD Program Team)
  • Published : 2005.02.17