한국광학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Optical Society of Korea Conference)
- 한국광학회 2005년도 제16회 정기총회 및 동계학술발표회
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- Pages.170-171
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- 2005
GaAs/SiO$_2$ /Si 웨이퍼 제작을 위한 SiO$_2$ 박막 형성과 웨이퍼 직접 접합에 관한 연구
Study on Deposited Film s of SiO$_2$ and Direct Wafer Bonding to Fabricate GaAs/SiO$_2$ /Si Wafers
- 발행 : 2005.02.17