펨토초 레이저를 이용한 형상 측정용 저결맞음 간섭계

Low-coherence Interferometry using Femtosecond Lasers for Surface Profilometry

  • 오정석 (한국과학기술원, 기계공학과) ;
  • 김승우 (한국과학기술원, 기계공학과)
  • 발행 : 2005.02.17