스퍼터링법에 의해 제작된 TiO-N박막의 특성에 관한 연구

TiO$_{2}$ 와 TiO-N 박막의 결정성은 전부 아나타제이고, 박막표현 거칠기는 방전전압이 높은 TiO-N 박막의 TiO$_{2}$ 박막보다 크다. 또한 박막의 광흡수스펙트럼을 측정한 결과 아주 약간의 red-shift를 보였고 이는 가시광영역에서도 광촉매 활용이 가능할 것이라는 결론을 내릴 수 있었다. 향후 이러한 박막 특성을 바탕으로 실제 염료 또는 VOCs 물질을 제거하는 적용성 테스트를 통해 광촉매 실용화에 더 나아갈 수 있을 것이라 사료되어진다.