한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2005년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.1741-1744
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- 2005
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- 2005-8446(pISSN)
전자빔 가공기를 위한 2 차 전자 검출기의 영상 노이즈 제거에 관한 연구
A Study on image noise removal of $2^{nd}$ electron detector for a E-Beam Lithography
초록
The electron beam machining provides very high resolution up to nanometer scale, hence the E-Beam writing technology is rapidly growing in MEMS and nano-engineering areas. For E-Beam machining,
키워드