Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

Photocatalytic $TiO_2$ Membrane for Water Treatment fabricated by Aerosol Deposition Method

에어로졸 증착 방법으로 제작된 수처리용 광촉매 $TiO_2$ 멤브레인

  • Choi, Byung-Kyu (Dept. of Metal and Materials Engineering, Kangnung National University) ;
  • Jung, Jong-Tae (Dept. of Civil Engineering, Kangnung National University) ;
  • Kim, Jong-Oh (Dept. of Civil Engineering, Kangnung National University) ;
  • Choi, Won-Youl (Dept. of Metal and Materials Engineering, Kangnung National University)
  • 최병규 (강릉대학교 금속재료공학과) ;
  • 정종태 (강릉대학교 토목공학과) ;
  • 김종오 (강릉대학교 토목공학과) ;
  • 최원열 (강릉대학교 금속재료공학과)
  • Published : 2005.11.10
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Abstract

본 논문은 광 활성도가 가장 좋은 아나타제(anatase) 상의 광촉매 $TiO_2$ 분말을 상온에서 aerosol deposition 법을 사용하여 박막을 제조하였다. 이런 제조 방법은 aerosol 분말을 초음속으로 분사하여 기판에 증착시키는 방법으로, 저온에서 박막 증착이 가능하여 thermal stress를 줄일 수 있고, 공정 단가를 낮출 수 있다는 장점이 있다. 박막 제조시 aerosol bath의 압력은 500 torr이고, chamber의 압력은 0.4 torr였다. 이런 압력차는 0.4mm$\times$10mm의 크기의 노즐을 통해 $TiO_2$ 나노 분말을 초음속으로 가속하여 기판에 증착시켰다. 박막 제조를 위해 사용한 기판은 수질정화에 응용하기 위해 직경 50mm인 원판 SUS 멤브레인을 사용하였다. SUS 멤브레인 위에 증착되어 있는 $TiO_2$ 박막의 입자 크기와 조성을 알아보기 위해 주사 현미경 (SEM) 및 EDX 분석을 하였고, l$\mu$m 정도의 입자 크기와 수처리 후에도 표면에 증착 되어진 anatase 상의 $TiO_2$ 박막을 확인할 수 있었다.

Keywords